17世纪,世界上**台光学显微镜发明成功,并且利用这台显微镜,人类首次观察到了细胞的结构,从而开始了人类使用仪器研究微观世界的新时代。但是,由于受光波长的限制,光学显微镜的分辨率只能达到10^-6m~10^-7m。20世纪初,利用电子透镜使电子束聚焦的原理,成功的发明了电子显微镜,它的分辨率达到了10^-8m。有了电子显微镜,比细胞小得多的病毒也露出了原形,增强了人们观察微观世界的能力。
1982年,格尔德·宾宁(Binning)和海因里希·罗雷(Rohrer)在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明了,世界上**台具有原子分辨率的扫描隧道显微镜,利用针尖和表面间的隧道电流随间距变化的性质来探测表面的结构,获得了实空间的原子级分辨图像。这一发明使显微科学达到了一个新的境界,并对物理、化学、生物、材料等领域的研究产生了巨大的推动作用。为此格尔德·宾宁和海因里希·罗雷于1986年被授予诺贝尔物理奖。