显微镜物镜分辨距离的计算公式:根据光学衍射理论,衍射光斑直径d=Kλ/NA,若光斑为爱里圆斑,则强度沿径向降低为*大值的1/2时,对应的K=0.52,即d=0.52λNA,焦深ΔZ=λ /2NA2。
可见,当NA值增大时,光斑直径d减小,有利于提高测量头的横向及垂直分辨率,但在物镜直径一定的情况下,此时镜头更为靠近被测工件表面,不利于测量头的调整,且系统波象差会随NA值的增大而加大,故需对NA值进行优化选择。
显微镜的分辨力的大小由物镜的分辨力来决定的,而物镜的分辨力又是由它的数值孔径和照明光线的波长决定的。当用普通的中央照明法(使光线均匀地透过标本的明视照明法)时,显微镜的分辨距离为d=0.61λ/NA。